真空系统的器壁因材料本身缺陷或焊缝、机械连接处存在孔洞、裂纹或间隙等缺陷，外部大气通过这些缺陷进入系统内部，致使系统达不到预期的真空度，这种现象称为漏气，造成漏气的缺陷称为漏孔。
真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。真空检测常用的有荧光检漏、高频火花检漏、放电管检漏和仪器检漏等多种方法。

1、荧光检漏，将被检的零部件浸入荧光粉的有色溶液(二氯乙烯或四氯化碳)中，经一定时间后取出烘干，漏孔处留有荧光粉，在器壁另一面用紫外线照射，发光处即为漏孔位置。
2、高频火花检漏，这种方法仅适用于玻璃真空系统。先将系统抽成真空，高频火花检漏仪的火花端沿着玻璃表面移动，火花集中成束形成亮点处即是漏孔位置。
3、放电管检漏，将放电管接到系统上，并将系统抽成中真空，在高频电压作用下系统中残存气体(空气)产生紫红色或玫瑰色辉光放电。若在系统可疑表面处涂上丙酮、汽油、酒精或其他易挥发的碳氢化合物，有蓝色放电颜色出现之处便是漏孔位置。

4、超声波仪器检漏，当气体从高压端通过阀门到低压端，在正常情况下会相对较“安静”，一旦阀门有泄漏或内漏，气体通过泄漏点时，就会产生湍流，湍流会产生强烈的超声波信号，由超声波检测仪检测是否有超声波信号来判定阀门的泄漏。
超声波仪器检漏有以下几个特点
①检漏灵敏度高，可以检出很小的漏洞

②反应时间短，提高检漏的工作效率

③能定位、定量，不仅可以找出漏孔的具体位置，还能确定漏孔的大小尺寸

④能在检漏同时，尽量保证被检设备不受到损坏

⑤稳定性好，长时间保证足够的灵敏度和稳定性

⑥检漏范围大，减少检漏设备的数量和费用，从大漏孔到小漏孔都能检测